压阻式硅微加速度传感器的结构设计与仿真

一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用单梁加质量块的形式,这种形式的传感器灵敏度比较高,但它的横向效应较难克服,文中提出一种四梁结构的加速度传感器,通过仿真计算,说明该结构的加速度传感器具有良好的综合特性.     

Gravimetry based on the method of inertial navigation

A method of spatial gravimetry based on expansion of the functional properties of a three-component inertial navigation system is considered. __________ Translated from Izmeritel’naya Tekhnika, No. 2, pp. 7–9, February, 2006.     

数字加速度传感器ADXL210在轨检仪中的应用

介绍了一种轨道检测仪及其重要传感器数字加速度传感器ADXL210的工作原理、功能、应用，并给出了ADXL210与MCS－51单片机的接口硬件电路和软件程序。     

一种数字倾角仪自标定系统的研制

介绍一种利用高精度的步进电机对数字倾角仪进行标定的自标定系统。该标定系统利用固定于步进电机转轴上的数字倾角仪随步进电机旋转，一方面通过步进电机旋转的步数得到具体的旋转角度，另一方面通过单片机记录微加速度计的信号输出而达到标定数字倾角仪的目的。经过实践证明，该自标定系统具有标定速度快，效率高和精度好等优点。     

无陀螺惯性测量组合实验系统设计

无陀螺惯性测量组合(Non-gyro InertialM easurem entUn it-NG IMU)是利用线加速度计在空间的组合解算出载体的角速度,同时测量载体的轴向加速度,构成惯性测量组合,应用该方法可以设计出适用的中等精度惯性导航系统.针对目前多种加速度计配置方案,提出NG IMU九加速度计配置方案,该方案直接得出角加速度表达式,有效避免了求解微分方程组.在推导了导航参数计算数学模型的基础上,在国内率先组建了实验系统,设计了数据处理电路,并且进行了角度测试实验.实验结果表明,该系统可以真实反映角度变化趋势,准确描述姿态信息,方案正确可行.     

基于加速度计的航空遥感器扫描反射镜姿态控制研究

提出了一种航空遥感器扫描反射镜姿态控制的新方法,用小型、低造价的线性加速度计代替陀螺感测飞行器的三维角运动,反射镜姿态控制系统用实测的角加速度作为控制系统的反馈信号.根据用线性加速度计指示角加速度的公式,讨论了将加速度计直接配置在扫描反射镜镜体上的方案,并给出了执行扫描反射镜姿态控制策略的控制系统原理图,证明该方法在理论上是简易可行的,具有一定的实用性.     

Bulk micromachining of silicon in TMAH-based etchants for aluminum passivation and smooth surface

The fabrication of silicon based micromechanical sensors often requires bulk silicon etching after aluminum metallization. All wet silicon etchants including ordinary undoped tetramethyl ammonium hydroxide (TMAH)-water solution attack the overlaying aluminum metal interconnect during the anisotropic etching of (100) silicon. This paper presents a TMAH-water based etching recipe to achieve high silicon etch rate, a smooth etched surface and almost total protection of the exposed aluminum metallization. The etch rate measurements of (100) silicon, silicon dioxide and aluminum along with the morphology studies of etched surfaces are performed on both n-type and p-type silicon wafers at different concentrations (2, 5, 10 and 15%) for undoped TMAH treated at various temperatures as well as for TMAH solution doped separately and simultaneously with silicic acid and ammonium peroxodisulphate (AP). It is established through a detailed study that 5% TMAH-water solution dual doped with 38 gm/l silicic acid and 7 gm/l AP yields a reasonably high (100) silicon etch rate of 70 μm/h at 80 °C, very small etch rates of SiO₂ and pure aluminum (around 80 Å/h and 50 Å/h, respectively), and a smooth surface (±7 nm) at a bath temperature of 80 °C. The etchant has been successfully used for fabricating several MEMS structures like piezoresistive accelerometer, vaporizing liquid micro-thruster and flow sensor. In all cases, the bulk micromachining is carried out after the formation of aluminum interconnects which is found to remain unaffected during the prolonged etching process at 80 °C. The TMAH based etchant may be attractive in industry due to its compatibility with standard CMOS process.     

单天线GPS/加速度计组合测姿方法研究

为了提高微小型飞行器和导弹等横向尺寸不足以安装多天线GPS的飞行载体的姿态测量精度,研究了利用单天线GPS和加速度计组合进行姿态测量的方法.引入了伪姿态的概念,提出了由伪姿态测量辅助求取载体姿态的具体算法,阐述了单天线GPS和加速度计组合测姿的基本原理.建立了单天线GPS姿态测量的数学模型,给出了其姿态的求解过程,阐明了其物理意义.对单天线GPS测姿系统进行了半实物仿真试验.仿真结果表明:该测姿系统可以实时提供高精度的姿态信息,为单天线GPS/SINS组合导航系统在微小飞行器上的应用奠定了基础.     

一种扭摆式硅微机械加速度传感器

介绍了一种基于体硅微机电系统(MEMS)工艺制作的扭摆式硅微机械加速度传感器,对制作过程的一些工艺问题进行探讨,并提出相应的解决办法,主要涉及到硅-玻璃阳极键合、结构释放等关键工艺。对测试结果进行了初步分析,分辨力可以达到1mgn,测试±1gn范围内线性度可以达到99.99%。     

基于支持向量机的运动员脚力信息识别方法

如何快速准确地实现运动员脚力信息的自动识别对于构建一个智能的、实时的运动员训练指导系统至关重要.文中首次提出了使用支持向量机进行运动员脚力曲线自动分段的方法.在详细讨论和分析抓举运动员的六维脚力曲线特征的基础上,根据曲线对应的五个运动阶段,进行了特征提取,然后构造了基于支持向量机的多类模式分类器,实现了脚力曲线对应运动阶段的自动识别,取得了令人满意的分类效果,为构建举重运动员训练指导系统打下基础.